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1.產品表麵的潔淨度不夠,離子源清洗氬氣放大時間過長。
2.清洗時是否加了清洗劑,或者更換了清洗劑,建議使用純水先試一下。
3.工藝參數是否變動,在膜厚和電流上可進行一些調整。
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